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電磁驅動
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電磁驅動的運動精度(2016-03-02)
由于電磁驅動臺的驅動是以磁場為介質的，因此磁場的分析和設計是電磁微動臺整體結構設計的前提。盡管目前學者已經對磁場分析、電磁力計算等重要問題進行了相關研究，但是還未形成一套完整的電磁微動…[詳情]
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