1、旋片式真空泵

　　轉子以一定的偏心距裝在泵殼內并與泵殼內表面的固定面靠近，在轉子槽內裝有兩個（或兩個以上）旋片，當轉子旋轉時旋片能沿其徑向槽往復滑動且與泵殼內壁始終接觸，此旋片隨轉子一起旋轉，可將泵腔分成幾個可變容積。旋片式真空泵屬于低真空泵。它可以單獨使用，也可以作為其他高真空泵或超高真空泵的前級泵。旋片泵多為中小型泵，產品已經系列化。旋片泵有單級和雙級兩種，一般多做成雙級的，以獲得較高的真空度。旋片泵絕大多數是單工作腔結構，常用兩個徑向滑片，也有用三個斜置滑片的。貫穿滑片真空泵也有應用。

2、滑閥式真空泵

　　在偏心轉子外部裝有一個滑閥，轉子旋轉帶動滑閥沿泵殼內壁滑動和滾動，滑閥上部的滑閥桿能在可擺動的滑閥導軌中滑動，而把泵腔分成兩個可變容積。滑閥式真空泵的抽氣原理與旋片泵相似，但兩者結構不同。滑閥式真空泵是利用滑閥機構來改變吸氣腔容積的，故稱滑閥泵。

3、定片式真空泵

　　在泵殼內裝有一個與泵內表面靠近的偏心轉子，泵殼上裝有一個始終與轉子表面接觸的徑向滑片，當轉子旋轉時，滑片能上、下滑動將泵腔分成兩個可變容積。定片式真空泵抽速較小，有單級、雙級之分，雙級泵的極限真空可達10-1Pa。泵的結構簡單、使用壽命較長和檢修容易，但由于其工作性能不如旋片泵，所以目前已經很少生產和應用。

4、余擺線式真空泵

　　在泵腔內偏心裝有一個型線為余擺線的轉子，它沿泵腔內壁轉動并將泵腔分成兩個可變容積。泵的動平衡性好，所以泵運轉較平穩、振動亦小，轉速可以提高，可以做到尺寸小、抽速大，適合發展為大抽速的機械真空泵。由于吸氣管路短而粗，有利于提高低壓力下的抽速。因此，在低壓范圍內（1～l00Pa）余擺線泵的抽速特性曲線優于滑閥泵。余擺線泵的轉子和泵體是一對共軛齒形副的嚙合運動，所以對被抽氣體中含有一定量的粉塵及小顆粒等不太敏感。余擺線泵適應較高溫度的工作環境，可以通過溫控裝置使泵腔保持較高溫度（即成為余擺線熱泵），用來抽除大量的可凝性水蒸汽。

5、多室旋片式真空泵

　　在一個泵殼內并聯裝有由同一個電動機驅動的多個獨立工作室的旋片真空泵。