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中科儀投資10億新建干式真空泵產(chǎn)業(yè)化建設項目

作者： 2022年06月23日來源：瀏覽量：

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卑多敏陸小亮攝影報道中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司利用10年時間攻克了生產(chǎn)干式真空泵的“卡脖子”技術，投資10億元，在南通高新區(qū)設立全資子公司中科儀（南通）半導體設備有限責任公司，新建干式真空泵產(chǎn)業(yè)化

卑多敏陸小亮攝影報道

中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司利用10年時間攻克了生產(chǎn)干式真空泵的“卡脖子”技術，投資10億元，在南通高新區(qū)設立全資子公司中科儀（南通）半導體設備有限責任公司，新建干式真空泵產(chǎn)業(yè)化建設項目，以推動研究成果轉(zhuǎn)化，改變國內(nèi)現(xiàn)今還依賴進口的窘境。項目達產(chǎn)后，可年產(chǎn)干式真空泵20040臺套。

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