白光干涉三維形貌儀是利用光學(xué)干涉原理研制開(kāi)發(fā)的超精密表面輪廓測(cè)量?jī)x器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過(guò)分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個(gè)疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機(jī)感光面會(huì)觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測(cè)樣品的相對(duì)高度。
    白光干涉測(cè)量法已被用來(lái)測(cè)量微間隙的厚度。采用這種方法來(lái)顏值浮動(dòng)塊。浮動(dòng)塊作為磁傳感器的載體，它與磁盤(pán)表面考得很近。如果正確設(shè)計(jì)浮動(dòng)塊的表面形狀，并在其上施加適當(dāng)?shù)妮d荷，由于在旋轉(zhuǎn)的盤(pán)片上存在附面層，于是在浮動(dòng)塊下形成自起作用的空氣軸承。
為了評(píng)價(jià)這些浮動(dòng)塊的性能，必須確定某些參數(shù)，例如浮動(dòng)塊的表面形狀，穩(wěn)態(tài)的浮動(dòng)塊與盤(pán)面間的間隙等。由于這些參數(shù)只是具有少數(shù)幾種可見(jiàn)光波長(zhǎng)的大小，故其測(cè)量可采用光干涉測(cè)量法的分辨率超過(guò)單射光法的分辨率。
白光干涉條紋是一條連續(xù)的彩色光譜，而不是單色光法那樣的明暗相間的條紋。間隙厚度小于1微米時(shí)，這些彩色干涉條紋其分辨率為0.05微米，與之相比，目前用來(lái)測(cè)量這些參數(shù)的可見(jiàn)單色光干涉條紋的分辨率，只有0.15-0.20微米。
浮動(dòng)塊與旋轉(zhuǎn)盤(pán)面之間能維持自起作用的潤(rùn)滑膜（有時(shí)稱(chēng)為流體動(dòng)力摩擦潤(rùn)滑）。由于契形效應(yīng)，這個(gè)潤(rùn)滑膜產(chǎn)生承載能力。潤(rùn)滑膜的工作狀態(tài)，由有特定邊界條件的方程決定。磁記錄主要發(fā)展方向之一是不斷努力去達(dá)到較高的記錄位密度。
白光干涉測(cè)量法已用來(lái)評(píng)定浮動(dòng)塊的各個(gè)參數(shù)，例如測(cè)定浮動(dòng)塊的表面形狀及穩(wěn)態(tài)的浮動(dòng)塊與磁盤(pán)間的間隙。這種方法之所以有這些用途，是因?yàn)樵摲ㄓ蟹浅：玫姆直婺芰?，其范圍可以測(cè)量大多數(shù)參數(shù)。這種方法的另一個(gè)理想的特點(diǎn)就是裝置簡(jiǎn)單，即有一臺(tái)顯微鏡，內(nèi)裝照射的光源，同事它能夠拍攝全視域性彩色照片。
通常，在浮動(dòng)塊上要檢驗(yàn)的第一個(gè)參數(shù)是表面輪廓。對(duì)每一個(gè)浮動(dòng)塊來(lái)說(shuō)，表面輪廓決定了汽浮的特性，隨后，在給定的速度下，又影響浮動(dòng)塊與磁盤(pán)的間隙。利用守載的浮動(dòng)塊對(duì)著光學(xué)平晶的辦法，來(lái)檢驗(yàn)浮動(dòng)塊的表面輪廓，光學(xué)平晶模擬盤(pán)表面。然后，用一臺(tái)顯微鏡透過(guò)光學(xué)平晶來(lái)檢級(jí)浮動(dòng)塊的表面輪廓。由浮動(dòng)塊表面輪廓產(chǎn)生的干涉條紋彩色照作為測(cè)量數(shù)據(jù)報(bào)告。