極紫外光刻膠重大專項通過驗收

作者： 2018年06月06日來源：全球化工設備網瀏覽量：

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5月24日，國家科技重大專項極大規模集成電路制造裝備與成套工藝專項項目極紫外光刻膠材料與實驗室檢測技術通過驗收。　　該項目由中國科學院化學研究所、中國科學院理化技術研究所、北京科華微電子材料有限公司聯

　　5月24日，國家科技重大專項極大規模集成電路制造裝備與成套工藝專項項目極紫外光刻膠材料與實驗室檢測技術通過驗收。

　　該項目由中國科學院化學研究所、中國科學院理化技術研究所、北京科華微電子材料有限公司聯合承擔。經過項目組全體成員的努力攻關，完成了EUV光刻膠關鍵材料的設計、制備、合成工藝、配方組成以及光刻膠制備、實驗室光刻膠性能初步評價裝備的研發，達到了任務書中規定的材料和裝備的考核指標。截止到目前，共獲得授權專利10項(包括國際專利授權3項)。

　　與會專家對項目取得的研發成果給予了充分肯定。專家指出，開展極紫外光刻膠的研發具有戰略眼光，經過項目組成員幾年的努力，完成了研發任務，達到了項目任務書中規定的指標;建立了一支高檔光刻膠研發隊伍，為我國的半導體集成電路產業的穩定發展提供了人才支持。

　　課題承擔單位表示，我國高檔電子化學品的研發正處于高速發展期，該項目的完成將對我國半導體產業的穩定發展提供重要保證，希望國家對高檔光刻膠的研發給予持續支持。

　　下圖為項目人員匯報項目總體情況。

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