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紫外納米壓印光刻機
光電所自主研制成功紫外納米壓印光刻機(2016-04-06)
近日，中國科學院光電技術研究所微電子專用設備研發團隊在微納制作設備領域再次發力，自主研制成功紫外納米壓印光刻機，其成本僅為國外同類設備的三分之一，推進我國微納實用制造水平邁上新的臺階。…[詳情]
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